簡(jiǎn)要描述:DWT-702精密溫度自動(dòng)控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過(guò)程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝,也適用于各種晶體生長(zhǎng)、拉單晶等工藝。能對(duì)電阻性負(fù)載的各種電加熱爐能提供長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)性的高精度溫度自動(dòng)控制。
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DWT-702精密溫度自動(dòng)控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過(guò)程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝,也適用于各種晶體生長(zhǎng)、拉單晶等工藝。能對(duì)電阻性負(fù)載的各種電加熱爐能提供長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)性的高精度溫度自動(dòng)控制。
型 式: 盤裝式、便攜式
設(shè)定范圍: O~19.999mV一配用熱電偶 S(LB-3)
O~59.999mV一配用熱電偶K (EU_2)
設(shè)定精度 0.3級(jí)
設(shè)定方式:五位十進(jìn)數(shù)定拔盤
調(diào)節(jié)精度: ±O.1%
放大器時(shí)漂: ≤4μV/24小時(shí)
PID調(diào)節(jié)器參數(shù):P:2~250% 連續(xù)可調(diào)
I:O.5~10分鐘 連續(xù)可調(diào)
D:O~3分鐘 連續(xù)可調(diào)
輸出信號(hào):移相脈沖,幅值>3V 寬度>30μs(20Ω負(fù)載)
移相范圍:每交流半周>150℃
數(shù)偶保護(hù):斷偶時(shí),偏差指示為正偏差,調(diào)節(jié)器輸出為零,儀表無(wú)輸出
抗干擾性:縱向220V50Hz:橫向5mV
工作環(huán)境:溫度為0~40℃相對(duì)濕度不超過(guò)
85%RH的無(wú)腐蝕性氣體的場(chǎng)合
大氣壓力:860~1060mbar
電 源:220V.AC±10%50Hz
重 量:約6.5kg